ビジネス/オフィス, プラズマクリーナー, 洗浄

プラズマクリーナーの具体的なメカニズムとは

プラズマクリーナーは減圧されたチャンバー内にアルゴンガスや酸素ガスを導入し、高周波電力を電極間に印加します。気体に過剰なエネルギーを与え続けると、分子から原子が離れて最後にイオンと電子の状態になります。分子がプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子に分かれた状態がプラズマです。プラズマクリーナーにはRIEモードとDPモードという異なる処理方式があり、イオンや原子を使って精密機器に付着した細かな汚れを取り除きます。

半導体やレンズ、電子機器などを製造する過程では有機物や無機物による細かな汚れが発生します。汚れを放置すると品質劣化の原因になるので、プラズマクリーナーなどを使い取り除かなければなりません。プラズマクリーナーは高価な薬液を使用しないため、コストを抑えつつ効率的に汚れを取り除くことができます。精密機器は完成までに何度も洗浄作業を行うので、この装置を使えば品質だけでなく生産性も向上します。

RIEモードとDPモードはいずれも減圧されたチャンバー内に気体を導入し、高周波電力でプラズマを発生させる点は同じです。前者はアルゴン原子がアルゴンイオンと電子に分かれ、軽い電子が先に下部電極へ到達します。マイナス電圧と加速領域であるイオンシースが発生した下部電極にアルゴンイオンが引き寄せられます。速度を増して有機物や無機物に衝突し物理的に弾き飛ばします。

DPモードでは高周波電力によって酸素分子から離れた原子が有機物と化学反応を起こし、水分子と二酸化炭素に変えます。無機物による汚れも生じている場合にはRIEモードが適しており、有機物による汚れのみが生じている場合はDPモードが適しています。

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