ビジネス/オフィス, プラズマクリーナー, 洗浄

プラズマクリーナーが多くの工場で活躍しています

半導体などの精密機器を効率的に製造する上で欠かせない装置がプラズマクリーナーです。この装置は減圧されたチャンバー内に酸素ガスやアルゴンガスを導入し、高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。主に酸素ガスを導入するタイプはDPモードと呼ばれており、酸素原子が有機物を化学反応によって水分子と二酸化炭素に変えます。アルゴンガスを使うタイプはRIEモードと呼ばれており、加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させて物理的に弾き飛ばします。

前者は化学反応を利用し後者は物理的な力を利用するという違いがあります。精密機器を製造する過程では有機物や無機物による様々な汚れが発生します。細かな汚れを放置すると品質が劣化するため、何度も洗浄作業を行って除去しなければなりません。精密機器の品質だけでなく生産性も向上させるには、1回あたりの洗浄作業にかかる時間を短縮する必要があります。

アンモニアや塩酸など薬液を使用する方法はウェット洗浄と呼ばれており、比較的簡単に行うことができます。しかし薬液を洗い流して乾燥させるため時間がかかり、生産性を向上させることができません。プラズマクリーナーはドライ洗浄によって汚れを取り除くため、1回あたりの作業が短時間で完了します。上手く扱うにはある程度の経験や知識が必要になりますが、プラズマクリーナーを使えば品質だけでなく生産性も大幅に向上させることが可能です。

高品質な製品を短い納期で納品するため、多くの工場でプラズマクリーナーが使われています。

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