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プラズマクリーナーを効果的に使用するには

プラズマクリーナーはドライ洗浄によって精密機器に付着した細かな汚れを素早く取り除きます。この装置を使うと精密機器の品質だけでなく生産性も大幅に向上させることが可能です。プラズマクリーナーにはRIEモードとDPモードという異なる処理方式があるので、状況に応じて使い分ける必要があります。前者は有機物と無機物の両方に対応していますが、後者は有機物のみ対応しています。

これらを上手く使い分ければ精密機器を効率的に生産できます。半導体や電子機器などを作る過程では有機物や無機物による細かな汚れが発生し、品質劣化の原因になります。細かな汚れを取り除く方法はウェット洗浄とドライ洗浄の2種類に分けることができます。ウェット洗浄はアンモニアや塩酸、過酸化水素水や純水を使用して汚れを取り除く方法です。

洗浄槽に満たした薬液に対象物を浸す方法と、水平に置いて回転させた対象物にスプレー状の薬液を吹きかける方法があります。ウェット洗浄は簡単に行うことができますが、高価な超純水を使うだけでなく薬液を洗い流して乾燥させるのに時間がかかります。プラズマクリーナーはドライ洗浄を行うので高価な薬液を使用せず、作業時間も短縮できます。この装置は減圧されたチャンバー内に気体を導入し、高周波電力でプラズマを発生させます。

RIEモードはアルゴン原子が電離されてアルゴンイオンと電子になります。加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させ弾き飛ばします。DPモードでは酸素分子から離れた酸素原子が化学反応で有機物を水分子と二酸化炭素に変えます。プラズマクリーナーの中にはこれらの処理方式を1台に搭載したタイプも存在します。

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