ビジネス/オフィス, プラズマクリーナー, 洗浄

プラズマクリーナーについて

プラズマクリーナーはドライ洗浄のプラズマ技術で、環境を守りながら電子デバイス製造工程のアッシングや電子部品などの表面に付着している有機物を処理する洗浄装置です。プラズマクリーナーにはRIEモードとDPモードの2つのプラズマ処理方式があります。RIEモードは主にアルゴンガスなどを利用した方式で、平行平板電極構造の減圧チャンバーによって下部電極に配した処理物に対し、イオンの物理的な力を利用しています。DPモードは主に酸素ガスなどを利用した方式で、平行平板やバレル構造の減圧チャンバー内に配した処理物に対して化学反応を利用しています。

酸素原子が有機化合物との化学反応で二酸化炭素や水分子になり、真空ポンプによって排気される仕組みです。プラズマクリーナーの最大のメリットは、溶媒や洗浄液など一切必要としないことから電子回路やその部品を搭載する基盤などを洗浄することができることです。電子回路などの精密機器である基盤などは洗浄が困難でしたが、プラズマクリーナーはプラズマによってホコリや不純物などを分解することが可能です。目に見えない汚れなども除去することができ、さらには表面を滑らかにする効果もありますので汚れを付きにくくしてくれます。

従来プラズマクリーナーは非常に高い電圧を使用するため、静電気による電子部品の破損が心配されてきました。しかし、電圧や電極を制御することが可能で、直接的な負荷を電子部品にかけることなく汚れなどを除去できることがわかっています。

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