ビジネス/オフィス, プラズマクリーナー, 洗浄

プラズマクリーナーとはどんなもの?

プラズマクリーナーというと、何となく聞いたことがあってもぴんと来ない人も多いかもしれません。プラズマクリーナーとは簡単に言うと、ドライ洗浄をプラズマ技術から守って、半導体や電子デバイスのレンヌや医療痴愚などをコーティング剤の密着の改善を図り、製品の品質を向上させる目的の装置です。細かいプラズマを出すことで、細かな半導体や、電子材料を洗浄することが可能なのです。例えばシリコンだと、プラズマクリーナーを利用することで、ポリイミドの残留を除去し、レジストを剥離させることも可能といえます。

表面を濡れ制の向上を図ることにより、表面を改善することができるのです。パッケージの組立工程や、有機・無機質の除去等で優れた特性を発揮することも可能といえます。そしてドライクリーナーやエッチング、アッシングを目的とした減圧のプラズマ装置や大気圧プラズマ装置など場所によって、適切なプラズマクリーナーも変わってくるために勉強が必要です。例えばREIモードのプラズマ処理は平局板電極構造で、イオンを物理的なアタック力を駆使して利用するプラズマ装置です。

電子が軽いために、イオンより早く電極に到達するため、マイナス電圧と同時にイオンシースを発生させることが可能なのです。イオンはプラス電荷が大きいほど下にひかれていくために、無機物や有機物を廃棄飛ばしてクリーニングしていくのです。簡単にいうと、微細な成分で中をきれいにしてくれるのが特徴といえます。プラズマクリーナーのことならこちら

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