ビジネス/オフィス, プラズマクリーナー, 洗浄

プラズマクリーナーを採用するメリットとは

半導体や様々な電子機器を製造するには、有機物や無機物による細かな汚れを取り除かなければなりません。製造過程では発生する細かな汚れは品質劣化させるので、何らかの方法で除去する必要があります。細かな汚れを取り除く方法にはウェット洗浄とドライ洗浄の2種類があり、前者は比較的簡単ですが時間がかかり後者は扱いが多少難しいものの効率的です。時間に余裕があり簡単な方法で汚れを取り除きたい場合にはウェット洗浄がおすすめです。

製品の品質だけでなく生産性も向上させ、短い納期で納品したい場合にはプラズマクリーナーのようなドライ洗浄を採用するとよいでしょう。プラズマクリーナーには主にアルゴンガスを使うタイプと、酸素ガスを使うタイプの2種類が存在します。いずれも減圧されたチャンバー内に気体を導入し、高周波電力で電極間に印加してプラズマを発生させる点は同じです。気体にエネルギーを与え続けると分子から原子が離れて、最終的にイオンと電子に分かれたプラズマの状態になります。

アルゴンガスを使うタイプでは、加速したイオンを有機物や無機物に衝突させて弾き飛ばします。酸素ガスを使うタイプは原子が有機物を化学反応によって水分子と二酸化炭素に変えます。プラズマクリーナーには異なる処理方式があり、それぞれ対象となる汚れの種類に違いが存在します。有機物と無機物による汚れが発生している場合には、アルゴンガスを使うタイプが適しています。

一方で有機物のみによる汚れが生じている場合は酸素ガスを使うタイプが最適です。これらの処理方式を使い分けると生産性が幅に向上し、高品質な製品を短い納期で納品できるようになります。

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