ビジネス/オフィス, プラズマクリーナー, 洗浄

製品の品質を向上させるプラズマクリーナー

半導体や電子機器などを製造する過程では、有機物や無機物による様々な汚れが発生します。細かな汚れを放置すると性能低下の原因になりので、プラズマクリーナーなどを使い取り除く必要があります。プラズマクリーナーはドライ洗浄を行うため、コストが安いだけでなく効率性が優れています。ウェット洗浄は塩酸やアンモニア、過酸化水素水の他に高価な超純水を使用して汚れを除去します。

対象物を薬液に浸したりスプレー状の薬液を吹きかける方法がありますが、いずれも最後にリンスで洗い流して乾燥させなければなりません。プラズマクリーナーはドライ洗浄を行うため高価な超純水を使用せず、最後に薬液を洗い流して乾燥させる工程も不要です。半導体や電子機器は完成するまでに何度も洗浄作業を行う必要があります。品質だけでなく生産効率も向上させるためには、1回あたりの作業時間が短いプラズマクリーナーが有利です。

この装置には主にアルゴンガスを使うRIEモードと、酸素ガスを使うDPモードという2種類の処理方式が存在します。いずれも減圧されたチャンバー内に気体を導入して、高周波電力でプラズマを発生させる点は同じです。気体にエネルギーを与え続けると分子から原子が離れて、最後にイオンと電子に分かれたプラズマになります。RIEモードではアルゴンイオンを加速して有機物や無機物に衝突させ、物理的に弾き飛ばします。

DPモードは酸素原子が有機物を化学反応で水分子や二酸化炭素に変えます。これらの処理方式はそれぞれ対象となる汚れが異なるので、状況に応じて使い分ける必要があります。

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