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品質と生産性を高めるプラズマクリーナー

精密機器の品質を向上させるためには、製造過程で生じる有機物や無機物による細かな汚れを取り除かなければなりません。ドライ洗浄を行うプラズマクリーナーを使えば、様々な不純物を効率的に取り除くことができます。精密機器に付着した汚れを取り除く方法は、大きくウェット洗浄とドライ洗浄に分けられます。ウェット洗浄はアンモニアや塩酸、過酸化水素水の他に高価な超純水を使用します。

対象物を薬液に浸したり、スプレー状にして吹きかけたりして細かな汚れを取り除きます。ウェット洗浄はコストがかかるだけでなく、最後にリンスで薬液を洗い流して乾燥させるため時間がかかります。精密機器は完成までに何度も洗浄作業を行う必要がありますが、ウェット洗浄では生産性の向上を図ることができません。高品質な製品を短期間で納品したい場合には、ドライ洗浄を行うプラズマクリーナーの方が適しています。

プラズマクリーナーにはDPモードとRIEモードという2種類の処理方式が存在します。いずれも減圧されたチャンバー内に気体を導入し、高周波電力で電極間に印加してプラズマを発生させる点は同じです。気体にエネルギーを与え続けると、分子から原子が離れて最後にイオンと電子に分かれたプラズマになります。DPモードは主に酸素ガスを使用し、高周波電力によって酸素分子から離れた原子が有機物を二酸化炭素や水分子に変えます。

RIEモードは主にアルゴンガスを使い、加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させて物理的に弾き飛ばします。プラズマクリーナーは品質と生産性を向上させることができるため、精密機器を製造する多くの工場で使われています。

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